Soutenance de Sabrina BILOUK

Pour les technologies 32 nm, la propension du cuivre à diffuser et à migrer au sein du diélectrique peut impacter la fiabilité des dispositifs. Des alliages ternaires à base de cobalt, CoWP, déposés par voie electroless ont été développés en vue de jouer le rôle de barrières auto-positionnées afin de limiter ces phénomènes. Cependant, l'intégration du cobalt nécessite une adaptation des traitements de nettoyage à base d'acide glycolique auxquels ce dernier sera exposé. Le travail de cette thèse vise à évaluer l'impacte de cet acide sur l'intégrité des barrières et de proposer, par la suite, une alternative afin de réduire leur dissolution par l'ajout d'un inhibiteur de corrosion du cobalt, le benzotriazole. Des phénomènes de corrosion apparaissent aussi sur les plots en alliage d'aluminium AlCu pour les technologies imageurs lors du nettoyage à base d'acide oxalique. Les acides sulfurique et glycolique seront évalués comme candidats potentiels à la substitution de cet acide organique. L'objectif de cette thèse est d'identifié les mécanismes réactionnels régissant les interfaces concernées par caractérisation électrochimique. Membres du Jury M. Yann BULTEL, Examinateur M. Otavio GIL, Rapporteur M. Abdelhafed TALEB, Rapporteur M. Ricardo NOGUEIRA, Directeur de thèse Mme. Carole PERNEL, Co-encadrante Mme. Lucile BROUSSOUS, Co-encadrante Mme. Nadine PEBERE, Examinateur M. Didier LEVY, Examinateur