Aller au menu Aller au contenu
Science et ingénierie des matériaux et des procédés

> SIMAP_Groupes > SIMAP_EPM

ROCKY - Cristallisation de monocristaux par Kyropoulos

Fonction

Cristallisation de silicium et de matériaux semi-conducteurs ou isolants (oxydes) sous forme de lingots monocristallins en creusets graphite ou silice
Compatible avec les procédés Czochralski, solidification dirigée et Kyropoulos
Pression de travail ajustable de 10 à 1000mbar
3 zones de chauffages permettant une maitrise fine des conditions thermiques
Fonctionnement continu sur plusieurs jours, detection de défauts et mise en sécurtité technique automatique
 

Performances/Capacités

Enceinte inox double paroi : diamètre : 80cm, h=80cm, vide secondaire/primaire/atmosphérique
Creuset silice ou graphite : 10-40kg de capacité (diamètre max=40cm soit G1 et G2)
Automate de contrôle et de régulation du procédé
Injection d'Ar et d'O2 sur circuit de distribution dédié
Canne de tirage avec 50cm de débattement vertical et vitesse de rotation ajustable
Balance de précision haute capacité (60kg) pour le suivi en direct de la cristallisation
Système inductif pour le chauffage supérieur et résistif pour les chauffages inférieur et latéraux
Enregistrement en continu des paramètres du procédé (températures dans la chambre, température et débits d'eau de refroidissement, puissance....)

Description technique


Argon qualité 6.0
Detection O2
Génrateur Huttinger BIG 20/20 20kW
Alimentation continue Micronics System 30V-1000A
Eau recyclée + sécurité eau ville
Coffret prises tri+mono
Pompe à vide primaire + turbo pompe
Volume chambre : 1m3
rocky

mise à jour le 26 novembre 2019

Informations fiche

Date d'actualisation : Novembre 2019
Localisation et contact : SIMAP/EPM, Grenoble
Responsable scientifique : Guy Chichignoud
guy.chichignoud@simap.grenoble-inp.fr
tél : 04.76.82.52.29
Mobilité : non
Université Grenoble Alpes