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Grenoble INP
Publié le 27 septembre 2017
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La CVD fait une cure de jouvence grâce au plan d'expérience.

CVD SIMaP (crédit F. Mercier)

CVD SIMaP (crédit F. Mercier)

Nous proposons de revisiter un procédé connu et éprouvé de longue date au SIMAP, la CVD hautes températures d'AlN, par la méthode des plans d'expériences. Cette méthode nous a permis de mettre en évidence un effet prononcé de paramètres que la communauté scientifique peut juger secondaires, et ce de manière robuste. L'intérêt de la méthode est de sortir des sentiers battus de l'intuition sans augmenter le coût expérimental d'une campagne et donc de relancer une recherche jugée mature.


Ce travail a été publié dans la revue Coatings et a été choisie pour illustrer la couverture du volume de septembre 2017.

Epitaxial Growth of AlN on (0001) Sapphire: Assessment of HVPE Process by a Design of Experiments Approach,
Raphaël Boichot, Danying Chen, Frédéric Mercier, Francis Baillet, Gaël Giusti, Thomas Coughlan, Mikhail Chubarov and Michel Pons,
Coatings 2017, 7(9), 136; doi: Coatings 2017, 7(9), 136; doi:10.3390/coatings7090136
 

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Rédigé par Muriel Braccini

mise à jour le 27 septembre 2017

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