Aller au menu Aller au contenu
Grenoble INP
Science et ingénierie des matériaux et des procédés

Optimisation des procédés d'élaboration gaz/solide

Couches minces et empilements fonctionnels

Nous menons des recherches sur le dépôt chimique de couches minces et ultraminces de nitrures, d’oxydes, de métaux et de multimatériaux.
Notre objectif est de concevoir la fonction en contrôlant la structure, la pureté, le mode de croissance et les chemins réactionnels.
Notre approche pluridisciplinaire couple la synthèse des couches sur la plateforme PREMS, la caractérisation du dépôt, de la phase gazeuse et la simulation numérique multiéchelle.(Plus)

Développement et optimisation de réacteurs CVD/ALD

Cet axe combine une approche fondamentale avec l’écriture de mécanismes réactionnels et une approche technique portant sur l’instrumentation et l’amélioration technique de réacteurs CVD et ALD. Dans ce cadre, l’apport de la simulation et de la thermodynamique est incontournable pour désigner et optimiser les réacteurs (flux thermiques, écoulements gazeux et transport de matière).

Thermodynamique de la phase gazeuse

Nos activités visent à obtenir des données expérimentales pour la phase gazeuse des matériaux en utilisant la spectrométrie de masse couplé avec la méthode Knudsen.
Le but est le développement et l’optimisation des différents procédés d’élaboration en utilisant la thermodynamique de la phase gazeuse.
Notre expertise est dans le développement des techniques spectrométriques pour l'étude de précurseurs organométalliques utilisés dans les procédés de la microélectronique, des hydrures pour le stockage de l’hydrogène, des matériaux pour la sureté nucléaire.(Plus)

Rédigé par Sabine Lay

mise à jour le 21 septembre 2017

Publications

Galerie

 

Contacts

Elaboration des couches minces

Raphael Boichot
Elisabeth Blanquet
Frédéric Mercier
Arnaud Mantoux
Michel Pons

Thermodynamique de la phase gazeuse

Ioana Nuta

Plateforme expérimentale "PREMS"

Plateforme de Recherche pour l'Elaboration de Couches Minces ArchitecturéeS
 Réacteurs ALD (Atomic Layer Deposition) et CVD (Chemical Vapor Deposition)
Communauté Université Grenoble Alpes
×
Afin d'améliorer la qualité de ce site et le service rendu à l'utilisateur, nous utilisons des cookies de mesure d’audience. En poursuivant votre navigation sur ce site, vous acceptez l'utilisation de cookies à cette fin. Pour en savoir plus