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Science et ingénierie des matériaux et des procédés

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Soutenance de Fabrice MEGE

Mis à jour le 23 mai 2011
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AFM à contact résonant : Développement et Modélisation

Le 20 mai 2011 à 14h00 Amphi Jean Besson Phelma Campus

Thèse menée au sein des groupes TOP et PM du laboratoire SIMaP sous la direction de MM. Fabien Volpi et Marc Verdier.

Résumé Ce travail de thèse a consisté dans un premier temps à développer un appareil à champs proches sensible aux propriétés mécaniques de surface, et dans un second temps à analyser les résultats expérimentaux en s'appuyant sur des approches analytiques et/ou numériques. Désigné sous le nom de microscope à force atomique à résonance de contact (CR-AFM), cet appareil est sensible à la rigidité effective de films minces sur substrat, ce qui lui permet de cartographier la rigidité mécanique de films minces. Nous avons mené un important travail de développement instrumental afin d'obtenir des résultats expérimentaux répétables et fiables, condition indispensable à une analyse quantitative. Puis nous avons utilisé le CR-AFM sur divers échantillons : empilements modèles (films de silice sur silicium, avec épaisseurs variables de silice), films de silice avec porosité variable structures damascènes d'interconnexion cuivre,... Des images traduisant les variations d'élasticité de surface ont ainsi pu être construites. Pour quantifier ces variations, nous avons analysé nos résultats à l'aide de différents modèles (approches analytiques et numériques) ainsi que par des simulations par éléments finis. Membre du jury M. Christophe COUPEAU, Rapporteur (Université de Poitiers) M. Patrick DELOBELLE,  Rapporteur (CNRS FEMTO-ST - Besançon) M. Rafael ESTEVEZ, Examinateur (SIMaP - UJF) M. Richard ARINERO, Examinateur (Université de Montpellier 2) M. Fabien VOLPI,  Directeur de thèse (SIMaP - Grenoble INP) M. Marc VERDIER, Co-Directeur de thèse (SIMaP - CNRS) M. Guillaume PARRY, Invité (SIMaP - Grenoble INP)


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mise à jour le 23 mai 2011

Univ. Grenoble Alpes