Une fois le dépôt de TiN réalisé par Dépôt Chimique en phase Vapeur, des gouttes de TiCl3 tombent depuis les parois du réacteur et s'accroche sur la surface de TiN. Lorsque ce TiCl3 adsorbe de l'eau, il ressemble à des grappes de grains de raisin. L'un des grains, avec une fissure, ressemble à un Pacman.




A propos de l'auteur : Juan SU est post-doctorant au groupe TOP du laboratoire SIMaP.