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Science et ingénierie des matériaux et des procédés

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Soutenance de thèse Rym Benaboud

Mis à jour le 11 juin 2009
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Etude thermodynamique et élaboration de dépôts métalliques (W-N-C,Ti-N-C) par PEALD (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) pour la réalisation d’électrodes de capacités Métal/Isolant/Métal dans les circuits intégrés

le 18 Juin 2009 à 14h à l'amphithéâtre Jean Besson de Phelma (Ex. ENSEEG, Campus St Martin D'hères)

RESUME DE THESE

Les capacités MIM (Métal/Isolant/Métal), au cœur de cette étude, sont des composants intégrés entre les niveaux d'interconnections. Le développement de nouvelle architecture en trois dimensions impose de déposer les films ultraminces constituant la capacité MIM de manière très conforme. Ce qui conduit à utiliser un nouveau procédé de dépôt : la méthode ALD assistée par plasma ou PEALD. De plus l'augmentation des performances électriques des MIM passe par une maîtrise des propriétés des électrodes et des interfaces créées entre le diélectrique et les électrodes métalliques. Les matériaux développés dans cette étude sont Ti-N-C and W-N- C, déposés par PEALD à partir de précurseurs organométalliques TDMAT et BTBMW. Une étude sur les propriétés physico-chimiques et électriques des films est effectuée ainsi que l'intégration de ces films dans les capacités MIM.

 

MEMBRES DU JURY

M. Roland MADAR                                                           , Président

M. Philippe BARBOUX                                                      , Rapporteur

M. Christophe MULLER                                                    , Rapporteur

Mme. Elisabeth BLANQUET                                              , Directeur de thèse

M. Christophe WYON                                                       , Co-encadrant

M. Wilfried VANDERVORST                                              , Examinateur

M. Mickael GROS-JEAN                                                    , Examinateur

M. Stéphane DANIELE                                                     , Examinateur


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mise à jour le 11 juin 2009

Univ. Grenoble Alpes