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Pôle Elaboration et Traitements Thermiques

Elaboration et Traitements Thermiques

La thématique Elaboration et Traitements Thermiques s'intéresse à la synthèse des films minces par procédés gazeux (CVD, ALD), avec une approche très marquée "génie des procédés", c'est à dire que ces moyens d'élaboration sont accompagnés de simulations numériques multi-physiques et thermodynamiques, afin de minimiser le temps de conception des réacteurs et d'améliorer la reproductibilité des résultats. Des approches combinant expérimentations/plans d'expérience permettent de plus une approche originale de l'amélioration de la synthèse des films minces. Le couplage avec des simulations numériques permet de répondre de manière optimale à la demande des partenaires industriels dans le domaine des films minces tout en assurant une utilisation optimale des fonds de recherche dont nous disposons pour les projets académiques.

Cette thématique aborde également le domaine de la métallurgie au sens large et de la thermodynamique des phases massives, que ce soit pour l'allègement des structures ou la recherche exploratoire du comportement thermodynamique des laitiers de combustion de biomasse par exemple. Cette activité de métallurgie est fortement couplée à la simulation thermodynamique et un des objectifs est de compléter des bases existantes ou d'en créer de nouvelles, que ce soit au bénéfice d'un partenaire industriel pour augmenter sa compétitivité sur des nouveaux marchés, ou dans un cadre plus général de diffusion scientifique.

Ces activités sont bien sûr accompagnées de caractérisations structurales et fonctionnelles des couches minces ou des composés massifs élaborés, que ce soit au niveau de la structure interne de la matière, ou des propriétés de surface. Les applications principales concernent majoritairement le domaine de l'énergie et l'augmentation de la durabilité des matériaux sous usage intensif ou dans des conditions extrêmes, tout en réduisant au maximum leur impact sur les ressources ou leur toxicité.

Cette thématique comporte un bon équilibre entre recherche partenariale et fondamentale. Nous tentons autant que possible de valoriser nos découvertes vers la publication, le dépôt de brevets ou la création de start-up.
 
Illustration Elaboration et Traitements Thermiques
Conception numérique et réalisation d'un réacteur ALD instrumenté : temperatures de paroi, vitesse des gaz et fractions molaires.