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Science et ingénierie des matériaux et des procédés

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MAIA - Pilote plasma polyvalent pour le traitement du silicium


Fonction

Fusion de silicium et de matériau semiconducteurs en crusets froids ou chauds, brassage électromagnétique
Injection contrôlée de gaz réactifs
pour la purification du silicium pour l'obtention de silicium de qualité solaire (SoG-Si)
Plasma thermique inductif pour accélérer les cinétiques
Caractérisations in-situ des espèces volatiles par spectrométrie d'émission optique, caméra rapide et analyse chimique des gaz ICP-OES
 

Performances/Capacités

Enceinte inox double paroi : diamètre = 100cm ; hauteur = 60cm, 6 hublots (diamètre 20cm) pour spctrométrie, vide primaire/atmosphérique
Creusets froids : 3-10kg de capacité (diamètre maximal = 20cm), système de rechargement, translation de 20cm sous puissance
Traitement des gaz : système d'échappement avec dilution et contrôle du résiduel H2 et traitement des poussières
Torche plasma : torche à cage en cuivre refroidie (diamètre 40mm) à triple zone d'injection (générateur à tube 60kW-2,6MHz)
Système inductif : générateur Camari (200kW-8kHz)
Injection de gaz par débimètre massique : 12/3/3Nm3/h Ar, 2Nm3/h H2, 1Nm3/h O2
Spectrométrie OES pour la post décharge plasma
Analyse chimique des gaz par ICP-OES
Acquision en continu des paramètres procédé
 

Description technique

Argon qualité 5.0
Détection O2, H2
Générateur EFD triode 120kW
Générateur EFD CAMI 200kW
Eau recyclée + sécurité eau de ville
Spectromètre optique UV avec caméra CCD
Coffret prises tri+mono
ICP-analyse gaz
Pompe à vide primaire + traitement gaz échappement (unité de dilution par air (3000Nm3/h), filtration, contrôle taux H2
Volume de la chambre 1m3
Maia

mise à jour le 26 novembre 2019

Informations fiche

Date d'actualisation : Novembre 2019
Localisation et contact : SIMAP/EPM, Grenoble
Responsable scientifique : Guy Chichignoud
guy.chichignoud@simap.grenoble-inp.fr
tél : 04.76.82.52.29
Mobilité : non
Université Grenoble Alpes